[发明专利]自动退镀系统在审
| 申请号： | 202110014484.5 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112875294A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 曹文权;庞宏林;孙杰;吴六一;李立兵;杨松林 | 申请（专利权）人： | 甬矽电子（宁波）股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/02 | 分类号： | B65G49/02;B65G47/91;B65G47/90;B65G47/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 严诚 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种自动退镀系统，涉及芯片技术领域。自动退镀系统包括上料装置、输送装置、酸洗装置、第一水洗装置、退镀装置、第二水洗装置以及干燥装置；上料装置用于将产品输送至输送装置，输送装置被设置为沿输送方向输送产品，使得产品依次经过酸洗装置、第一水洗装置、退镀装置、第二水洗装置以及干燥装置。通过本申请提供的自动退镀系统，可以自动实现上料，然后通过输送带将产品依次输送到各个装置中进行相应的处理，包括酸洗、第一次水洗、退镀、第二次水洗以及干燥。整个过程中，产品依靠输送装置的输送带输送，避免人工过多接触，安全性高。同时，整个退镀工艺自动化实现，作业效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 系统 | ||
【主权项】：
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