[发明专利]解耦型双质量硅微机械振动陀螺仪结构有效
| 申请号： | 202110014421.X | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112833869B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 裘安萍;施芹;赵阳;夏国明 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 汪清 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种解耦型双质量硅微机械振动陀螺仪结构，用于测量垂直于基座水平的角速率测量仪器，由上层单晶硅、中间层单晶硅、下层单晶硅构成，上层单晶硅为布置有信号输入/出的引线的硅微陀螺仪封装盖板，中间层单晶硅片上制作的为陀螺仪机械结构，下层单晶硅为布置有固定基座的陀螺仪衬底，中间层单晶硅密封在由上层单晶硅和下层单晶硅形成的密闭空腔。本发明机械耦合误差小、机械灵敏度高、振动灵敏度低和温度灵敏度低，能实现驱动结构与检测结构运动解耦、大幅度振动和检测输出解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 解耦型双 质量 微机 振动 陀螺仪 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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