[发明专利]具有独立电压和定时控制并降低功耗的双脉冲功率系统在审
| 申请号： | 202080091291.3 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN114930656A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | P·C·梅尔彻;T·P·达菲;W·D·吉莱斯皮 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/104 | 分类号： | H01S3/104;H01S3/23;G03F7/20;H01S3/097;H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于控制包括两个激光放电腔室的激光源的系统、设备、方法和计算机程序产品。示例激光控制系统可以包括第一脉冲动力系，该第一脉冲动力系包括被配置为生成第一谐振充电供应(RCS)输出电压的第一独立电路。第一RCS输出电压可以被配置为驱动第一激光放电腔室。示例激光控制系统还可以包括第二脉冲动力系，该第二脉冲动力系包括被配置为生成独立于第一RCS输出电压的第二RCS输出电压的第二独立电路。第二RCS输出电压可以被配置为驱动独立于第一激光放电腔室的第二激光放电腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 独立 电压 定时 控制 降低 功耗 脉冲 功率 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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