专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于多个深紫外光学振荡器的控制系统-CN202080037757.1在审
  • 赵颖博;W·D·吉莱斯皮;J·J·索内斯;T·P·达菲;E·A·梅森 - 西默有限公司
  • 2020-05-15 - 2021-12-28 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种深紫外(DUV)光学系统,包括:光源系统,包括:多个光学振荡器;束组合器;以及在所述光学振荡器与所述束组合器之间的束控制装置。所述束组合器被配置为接收并朝向扫描器装置引导从所述光学振荡器中的任何光学振荡器发出的光作为曝光光束,并且所述束控制装置被配置为确定所述束组合器是否从所述光学振荡器中的特定光学振荡器接收光。所述DUV光学光刻系统还包括控制系统,被耦合到所述光源系统,所述控制系统被配置为:确定在所述DUV光学系统中是否存在条件,并且基于所述存在条件的确定,在所述光学振荡器的子集中执行校准动作。
  • 用于深紫光学振荡器控制系统
  • [发明专利]气体管理系统-CN201880089535.7在审
  • Y·罗曼·古提雷兹;W·D·吉莱斯皮;E·S·罗;D·A·卡纳瓦德 - 西默有限公司
  • 2018-02-15 - 2020-09-29 - H01L21/67
  • 一种气体再循环系统包括:气体净化器系统;气体分析系统;制备再循环气体混合物的气体混合系统;以及控制系统,该控制系统被配置为:确定至少一种预期气体成分的被测量的量是否在第一可接受值范围内;以及确定至少一种杂质气体成分的被测量的量是否在第二可接受值范围内。如果至少一种预期气体成分的被测量的量不在第一可接受值范围内,则控制系统引起气体混合系统向净化气体混合物添加附加气体成分,以制备再循环气体混合物;以及如果至少一种杂质气体的被测量的量不在第二可接受值范围内,则控制系统生成错误信号。
  • 气体管理系统
  • [发明专利]气体管理系统-CN201980013680.1在审
  • Y·罗曼·古提雷兹;W·D·吉莱斯皮;E·S·罗;D·A·卡纳瓦德 - 西默有限公司
  • 2019-01-10 - 2020-09-29 - H01S3/14
  • 一种气体腔室供应系统,包括气体源,其被配置为流体连接到气体腔室并且向气体腔室供应气体混合物,该气体源包括预先制备的气体供应,该预先装备的气体源包括气体混合物,该气体混合物包括多种气体成分并且不含卤素;回收气体供应,该回收气体供应包括气体混合物;以及流体流量开关,该流体流量开关连接到预先制备的气体供应和回收气体供应。气体腔室供应还包括控制系统,该控制系统被配置为确定回收气体供应内的气体成分之间的相对浓度是否在可接受范围内;并且基于该确定向该流体流量开关提供信号,以由此选择预先制备的气体供应和回收气体供应中之一作为气体源。
  • 气体管理系统
  • [发明专利]阀组件-CN200480041779.6有效
  • P·J·辛普森;W·D·吉莱斯皮;D·G·马楚拉 - 瓦索根爱尔兰有限公司
  • 2004-12-21 - 2009-06-17 - A61M39/26
  • 此处公开一种阀组件(14),该组件包括:阳接头末端部分(38)、阴接头末端部分(36)和用于在在于头末端部分阳接头末端部分与阴接头末端部分之间传输流体的通道;在第一位置与第二位置之间可移动的阀装置(44),在该第一位置上通路关闭,且在该第二位置上通路打开;用于使阀装置朝着第一位置偏移的偏移装置(64);以及启动装置(46),该启动装置延伸进阳接头末端部分中,并且当医疗附件的阴接头末端部分与阳接头末端部分相连接时与阀装置相连接而启动阀装置。
  • 组件

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