[发明专利]具有集成式RF滤波器的衬底支撑件在审
| 申请号： | 202080083709.6 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114761616A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 苏尼尔·卡普尔;丹·马罗尔;兰基山·拉奥·林加姆帕利;埃里克·马德森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/509;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种衬底支撑件包括主体、加热元件、第一射频滤波器和第二射频滤波器。所述主体被配置成支撑衬底。所述加热元件至少部分地在所述主体的第一部分中实施。所述第一射频滤波器连接至所述加热元件的输入端，且至少部分地在所述主体的第二部分中实施，并且经由第一通孔连接至所述加热元件。所述第二射频滤波器连接至所述加热元件的输出端，并且至少部分地在所述主体的所述第二部分中或第三部分中实施。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 rf 滤波器 衬底 支撑 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
