[发明专利]基板旋转装置在审
| 申请号： | 202080071635.4 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114555856A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 上原昇 | 申请（专利权）人： | SANTEC株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;G02B1/115;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 王其文;张涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板旋转装置，具备主旋转机构、副旋转机构以及导引结构。主旋转机构以第一旋转轴为中心进行旋转。主旋转机构具备副旋转机构。副旋转机构随着主旋转机构的旋转而绕第一旋转轴进行公转，并且副旋转机构以第二旋转轴为中心进行自转。第二旋转轴在对应于第一旋转轴的径向上位移。导引结构具有在对应于第一旋转轴的周向上延伸的接触面。导引结构控制第二旋转轴在径向上的位移，并且当接触面与副旋转机构接触时，导引结构使副旋转机构在沿着接触面的轨道上进行公转运动。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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