[发明专利]用于实现粘结结合的方法和用于实现粘结结合的支撑板在审

专利信息
申请号: 202080063655.7 申请日: 2020-07-29
公开(公告)号: CN114450160A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 鲁道夫·凯撒;霍斯特·拉普森 申请(专利权)人: ASM阿米卡微技术有限公司
主分类号: B32B37/12 分类号: B32B37/12;B32B37/00;B32B38/18;B32B38/00;B32B17/10
代理公司: 北京慧诚智道知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11539 代理人: 戴燕
地址: 德国雷根斯堡*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于在至少部分透明的板状的至少第一部件和第二部件(9,12)之间实现粘结结合的方法,其中第一部件(9)放置到支撑板(2)上,其中在所述第一部件(9)的背离支撑板(2)一侧上的预设定的位置处将粘合剂涂覆到所述第一部件(9)上,其中第二部件(12)放置到第一部件(9)上并以预设定的距离(D)与第一部件(9)保持平行,使得所述第二部件(12)与所述第一部件(9)上的粘合剂(2)接触。本发明为了使粘合剂固化,光(13)从支撑板背离所述部件(9,12)处的一侧,穿过至少一部分透明的支撑板(2)和穿过所述第一部件(9)被施加到所述粘合剂上。此外,本发明还涉及一种产生粘结结合的支撑板,以及产生粘结结合的粘结结合装置。
搜索关键词: 用于 实现 粘结 结合 方法 支撑
【主权项】:
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