[发明专利]用于实现粘结结合的方法和用于实现粘结结合的支撑板在审

专利信息
申请号: 202080063655.7 申请日: 2020-07-29
公开(公告)号: CN114450160A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 鲁道夫·凯撒;霍斯特·拉普森 申请(专利权)人: ASM阿米卡微技术有限公司
主分类号: B32B37/12 分类号: B32B37/12;B32B37/00;B32B38/18;B32B38/00;B32B17/10
代理公司: 北京慧诚智道知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11539 代理人: 戴燕
地址: 德国雷根斯堡*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 实现 粘结 结合 方法 支撑
【权利要求书】:

1.一种用于在至少部分透明的板状的至少第一部件和第二部件(9;12)之间实现粘结结合的方法,其中所述第一部件(9)放置到支撑板(2)上,其中在所述第一部件(9)的背离所述支撑板(2)的一侧上的预设定的位置处将所述粘合剂(10)涂覆到所述第一部件(9)上,其中所述第二部件(12)放置到所述第一部件(9)上并以预设定的距离(D)与所述第一部件(9)保持平行,即,使得所述第二部件(12)与存在于所述第一部件(9)上的所述粘合剂(10)接触,其中,为了固化所述粘合剂(10),光(13)从所述支撑板(2)的背离所述部件(9;12)的一侧穿过至少部分透明的所述支撑板(2)并穿过所述第一部件(9)施加到所述粘合剂(10),其特征在于,所述第一部件(9)放置到所述支撑板(2)的凸起结构(4)上。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述支撑板(2)保持在板保持架(1)中。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,借助于计量阀(22)将所述粘合剂(10)涂覆到所述第一部件(9)上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,所述预设定的位置位于所述第一部件(9)的边缘区域中,在所述预设定的位置,将所述粘合剂(10)涂覆到所述第一部件(9)上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其特征在于,在所述支撑板(2)的所述凸起结构(4)的区域中将所述粘合剂(10)涂覆到所述第一部件(9)上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于,通过处理单元(21)至少所述第二部件(12)保持在部件保持架(11)中。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法,其特征在于,在将所述第一部件(9)放置到所述支撑板(2)上之后,通过相机装置(19)测量所述第一部件(9)的位置,在使所述第二部件(12)与所述粘合剂(10)接触之前,通过所述相机装置(19)测量所述第二部件(12)的位置,并基于所测量的位置相对于所述第一部件(9)调整所述第二部件(12)。

8.根据权利要求6或7中任一项所述的方法,其特征在于,保持所述部件保持架(11)的所述处理单元(21)与所述支撑板(2)平行对齐,其中,所述对齐以手动光学方式和/或通过传感器进行的。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法,其特征在于,将所述第二部件(12)保持在距所述第一部件(9)预设定的距离(D)处是通过间隔件进行的,所述间隔件连接到所述第一部件(9)和/或放置到所述第一部件(9)上。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的方法,其特征在于,将所述第二部件(12)保持在距所述第一部件(9)预设定的距离(D)处是通过传感器(24)进行的,所述传感器为光学传感器。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法,其特征在于,施加到所述粘合剂(10)上的所述光(13)是由紫外线UV光源和/或激光提供的。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法,其特征在于,所述光(13)受到所述支撑板(2)的不透明部分(6)阻挡,使得所述光(13)仅被施加到所述第一和第二部件(9;12)的涂覆了所述粘合剂(10)的区域。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法,其特征在于,与在所述第一部件(9)和所述第二部件(12)之间实现所述粘结结合类似,在所述第二部件(12)和另一部件之间实现粘结结合,并且该方法步骤可选地重复用于更多的部件之间。

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