[发明专利]用于实现粘结结合的方法和用于实现粘结结合的支撑板在审

专利信息
申请号: 202080063655.7 申请日: 2020-07-29
公开(公告)号: CN114450160A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 鲁道夫·凯撒;霍斯特·拉普森 申请(专利权)人: ASM阿米卡微技术有限公司
主分类号: B32B37/12 分类号: B32B37/12;B32B37/00;B32B38/18;B32B38/00;B32B17/10
代理公司: 北京慧诚智道知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11539 代理人: 戴燕
地址: 德国雷根斯堡*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 实现 粘结 结合 方法 支撑
【说明书】:

发明涉及一种用于在至少部分透明的板状的至少第一部件和第二部件(9,12)之间实现粘结结合的方法,其中第一部件(9)放置到支撑板(2)上,其中在所述第一部件(9)的背离支撑板(2)一侧上的预设定的位置处将粘合剂涂覆到所述第一部件(9)上,其中第二部件(12)放置到第一部件(9)上并以预设定的距离(D)与第一部件(9)保持平行,使得所述第二部件(12)与所述第一部件(9)上的粘合剂(2)接触。本发明为了使粘合剂固化,光(13)从支撑板背离所述部件(9,12)处的一侧,穿过至少一部分透明的支撑板(2)和穿过所述第一部件(9)被施加到所述粘合剂上。此外,本发明还涉及一种产生粘结结合的支撑板,以及产生粘结结合的粘结结合装置。

技术领域

本发明涉及一种用于在至少部分透明的板状的至少第一部件和第二部件之间实现粘结结合(adhesive bond)的方法,其中第一部件放置到支撑板上,其中在第一部件的背离支撑板的一侧上的预设定位置处将粘合剂涂覆到第一部件上,其中第二部件放置到第一部件上并以预定距离与第一部件保持平行,即,使得第二部件与第一部件上存在的粘合剂接触,并且粘合剂在其中固化。此外,本发明还涉及一种根据依照先前描述的方法用于在至少部分透明的板状的至少第一部件和第二部件之间实现粘结结合的支撑板。

背景技术

现有技术中已知用于实现两个板状部件之间的粘结结合的方法。例如,在文献WO2004/112100A1中描述了一种在部件安置期间提供特别高准确度的方法,其中接合设备包括检测站,借助于该检测站针对部件的至少两侧的位置和/或尺寸对部件的至少两侧进行检测。为此,检测站优选地包含至少两个相机系统用于检测部件各个侧面。当部件准确定位后,优选地借助于激光焊接将部件相互连接。

从JP 2012-152677 A中还了解了一种用于将粘合剂涂覆到工件上的设备以及相应的方法,该粘合剂可以借助于紫外线照射进行固化。该粘合剂沿一条具有较小线宽的线涂覆到工件上,随后通过施加紫外(UV,Ultra Violet)光至少在边缘固化。

DE 10 2006 001 885 A1涉及使用热熔粘合剂将至少一个微型部件固定到支架上,通过将至少一个微型部件固定到支架上的实现方法,从而构造检测器模块。为此,将热熔粘合剂涂覆到支架上,将微型部件被设置在距支架预设定距离处,并经由热熔粘合剂进行固定,即,借助于热胶的冷却在至少一个微型部件和支架之间实现牢固的粘合剂结合。

然而,已知的方法并不非常适合于连接彼此平行连接且彼此相距预定的距离的两个部件。在这种情况下,例如,必须确保只将非常小的张力或最好没有张力引入到部件中,以便其保持平坦结构。在激光焊接过程中出现的高温使上述方法不适用于此目的。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于在两个板状部件之间实现粘结结合的方法,该方法在部件定位期间提供高准确度,而在粘合过程中几乎没有或没有向部件中引入任何张力。此外,本发明的目的是提供一种支撑板,通过支撑板可以实施该种类型的方法。

上述目的是通过根据本发明权利要求1的用于实现粘结结合的方法和根据本发明权利要求15的用于实现粘结结合的支撑板来实现的。

提出了一种用于在至少部分透明的板状的至少第一和第二部件之间实现粘结结合的方法。例如,该部分透明的板状的部件可以是玻璃板。如果他们以预定距离相互平行且彼此粘合在一起,则,他们可以用于例如全息眼镜中。

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