[发明专利]压电元件在审

专利信息
申请号: 202080062313.3 申请日: 2020-05-25
公开(公告)号: CN114342098A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 岸本谕卓;池内伸介;铃木胜之;黑川文弥 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H01L41/047 分类号: H01L41/047;H01L41/187;H01L41/29;H03H9/17
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李国华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在压电元件(100)中,第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。
搜索关键词: 压电 元件
【主权项】:
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