[发明专利]压电元件在审
申请号: | 202080062313.3 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN114342098A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 岸本谕卓;池内伸介;铃木胜之;黑川文弥 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;H01L41/187;H01L41/29;H03H9/17 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李国华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在压电元件(100)中,第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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