[发明专利]含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器在审
| 申请号： | 202080056293.9 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114269456A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 古田慎二;早川隆志;芦高圭史;三轮直也;土屋公亮;丹所久典;秋月丽子 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B01D61/18 | 分类号： | B01D61/18;B01D61/20;B01D61/22;B01D37/04;C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供：一种含添加剂液体的过滤方法，其能够实现维持实用的过滤器寿命并显示优异的缺陷减少能力的研磨用组合物。通过本发明提供的含研磨用添加剂液体的过滤方法包括利用满足以下条件(1)及(2)的过滤器对上述含研磨用添加剂液体进行过滤的工序。(1)用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下。(2)利用SEM观察测定的入口侧平均孔径S |
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| 搜索关键词： | 研磨 添加剂 液体 过滤 方法 组合 制造 过滤器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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