[发明专利]含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器在审
| 申请号： | 202080056293.9 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114269456A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 古田慎二;早川隆志;芦高圭史;三轮直也;土屋公亮;丹所久典;秋月丽子 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B01D61/18 | 分类号： | B01D61/18;B01D61/20;B01D61/22;B01D37/04;C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 添加剂 液体 过滤 方法 组合 制造 过滤器 | ||
1.一种含有研磨用添加剂的液体的过滤方法，其包括利用过滤器对所述液体进行过滤的工序，
所述过滤器具有以下的特性：
用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下；及
利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述研磨用添加剂包含水溶性高分子。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述水溶性高分子包含纤维素衍生物。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述液体包含水，
所述水溶性高分子的至少一部分溶解于所述水中。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，其中，所述液体实质上不包含磨粒。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的方法，其中，所述液体为经过1次或2次以上预过滤的滤液。
7.一种含研磨用添加剂液体，其用权利要求1～6中任一项所述的方法进行了过滤。
8.一种研磨用组合物，其包含研磨用添加剂，所述研磨用添加剂包含于含研磨用添加剂液体，所述含研磨用添加剂液体用过滤器进行了过滤，所述过滤器具有以下的特性：
用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下；及
利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
9.一种研磨用组合物的制造方法，其特征在于，使研磨用组合物包含研磨用添加剂，所述研磨用添加剂包含于含研磨用添加剂液体，所述含研磨用添加剂液体用过滤器进行了过滤，所述过滤器具有以下的特性：
用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下；及
利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
10.一种过滤器，其用于含有研磨用添加剂的液体的过滤，
所述过滤器具有以下的特性：
用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下；及
利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
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