[发明专利]感光性树脂组合物及感光性元件在审
| 申请号： | 202080054534.6 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN114174922A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 柳翔太;加持义贵 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的之一在于，提供一种侧蚀量降低、铜线宽的均匀性优异、曝光时促进染料的显色、曝光部的可视性优异的感光性树脂组合物。根据本发明，提供一种感光性树脂组合物，其包含：(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物、(C)光聚合引发剂、(D)染料以及(E)下述通式所示的化合物{式中，R |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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