[发明专利]多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法在审
| 申请号： | 202080044492.8 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN114008736A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | D·斯坎兰;K·L·莎侬;D·斯蒂芬森 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 陈晓;吕传奇 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种真空排气系统和抽空多个腔室（10）的方法。真空排气系统位于洁净间中，并且包括：多个分支工艺气体通道（14），每个分支工艺气体通道被配置成连接到相应的腔室（10）；以及共享工艺通道（16），该共享工艺通道由分支通道的汇合形成，并且被配置成提供共享的流体连通路径，以用于来自所述腔室中的每一个的工艺气体从洁净间流动到洁净间外部的工艺通道。还存在多个分支抽气通道（30），每个分支抽气通道被配置成连接到相应的腔室（10）和共享的抽气通道（32），该共享的抽气通道由分支抽气通道的汇合形成，并被配置成提供流体连通路径以用于流体在真空腔室（10）中的至少一个的抽气期间从洁净间流动到洁净间外部的抽气通道。 | ||
| 搜索关键词： | 多个真 空腔 排气 系统 抽空 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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