[发明专利]图案形成装置

摘要

一种被配置用于光刻设备的图案形成装置，所述光刻设备被配置为使用辐射经由投影光学器件将所述图案形成装置的图案成像到衬底上。所述图案形成装置包括：第一部件，用于反射和/或透射所述辐射；以及第二部件，覆盖所述第一部件的表面的至少部分，并且被配置为至少部分地吸收入射到所述第二部件上的所述辐射。所述第二部件包括侧壁，其中所述侧壁的至少部分以一角度从所述第一部件延伸离开第一部分，所述角度是相对于平行于所述第一部件的所述表面的平面的，并且其中所述角度小于85度。