[发明专利]微小物体的集聚系统以及微小物体的集聚方法有效
| 申请号： | 202080030830.2 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113727776B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 饭田琢也;床波志保;石川弘树;山崎力 | 申请（专利权）人： | 公立大学法人大阪;株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H01S5/02253 | 分类号： | H01S5/02253;H01S5/02251;B01J19/00;C12M1/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 样本台(1)构成为对设置了薄膜(12)的基板(11)进行保持。激光模块(4)包含多个发光区域(421)，从多个发光区域(421)分别发出多个激光光线(L)。光波导(44)以及透镜(45)将多个激光光线(L)聚光到同一聚光点(F)。调整机构(6)构成为对样本台(1)与聚光透镜(光波导(44)以及透镜(45))之间的相对位置关系进行调整。控制装置(50)构成为能够进行单一照射模式和多点照射模式的切换。单一照射模式是对调整机构(6)进行控制使得多个激光光线(L)的聚光点(F)与薄膜(12)一致的模式。多点照射模式是对调整机构(6)进行控制使得聚光点(F)偏离薄膜(12)的模式。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 物体 集聚 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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