[发明专利]阳极化涂覆表面的宏观纹理化在审
| 申请号： | 202080027826.0 | 申请日： | 2020-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113678226A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 戈登·文胤·彭;艾德里安·拉多西亚;姜瑜;曼萨·拉贾戈帕兰;尼古拉斯·隆多诺 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于等离子体处理室的易耗部件包含面向等离子体侧。工程化表面被形成于所述易耗部件的所述面向等离子体侧中。多个凸起特征限定所述工程化表面，其中特征按预定图案设置，其中所述多个凸起特征中的每一者包含顶部区域，所述顶部区域具有外缘和侧壁。所述工程化表面的基底表面被配置成围绕所述多个凸起特征的每一者，使得相应凸起特征的相应侧壁从所述基底表面呈一定角度向上延伸至相应顶部区域。所述易耗部件被配置成安装于所述等离子体处理室中。所述易耗部件被配置成暴露于等离子体以及所述等离子体的副产物。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 化涂覆 表面 宏观 纹理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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