[发明专利]监视化学机械抛光中的抛光垫纹理在审
| 申请号： | 202080021537.X | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113597360A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | T·H·奥斯特海德;B·切里安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B37/005;H01L21/67;G06K9/20;G06N20/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于化学机械抛光的设备包含：平台，所述平台具有表面以支撑抛光垫；承载头，所述承载头固持基板抵靠抛光垫的抛光表面；垫调节器，所述垫调节器将研磨主体压靠在抛光表面上；原位抛光垫监视系统，所述原位抛光垫监视系统包含设置在平台上方的成像器以捕获抛光垫的图像；以及控制器，所述控制器被配置成接收来自监视系统的图像并且基于所述图像生成抛光垫表面粗糙度的测量。控制器可使用基于机器学习的图像处理来生成表面粗糙度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 监视 化学 机械抛光 中的 抛光 纹理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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