[发明专利]用于压模产生和固化的方法和设备在审
| 申请号： | 202080018072.2 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN113508336A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·Y·扬;卢多维克·戈代;罗伯特·J·维瑟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;B29C59/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开用于压模产生的方法和设备，其使用纳米抗蚀剂和紫外线阻挡材料。在一个非限制性实施方式中，公开了生产用于产生电气/光学部件的压模的副本的方法，所述方法包括：提供所述压模；用紫外线阻挡材料涂覆所述压模的底表面；使所述紫外线阻挡材料在所述底表面上固化；使所述压模与由压印抗蚀剂层覆盖的目标基板接触；在所述压模与所述目标基板的所述接触期间固化具有紫外线阻挡材料的所述压印抗蚀剂；和将所述压模从具有所述固化压印抗蚀剂层的所述目标基板释放。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 固化 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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