[发明专利]用于压模产生和固化的方法和设备

权利要求书

1.一种生产用于产生电气/光学部件的压模的副本的方法，包括：

提供所述压模；

用紫外线阻挡材料涂覆所述压模的底表面；

固化在所述底表面上的所述紫外线阻挡材料；

使所述压模与由压印抗蚀剂层覆盖的目标基板接触；

在所述压模与所述目标基板的所述接触期间固化具有紫外线阻挡材料的所述压印抗蚀剂层；和

将所述压模从具有所述固化压印抗蚀剂层的所述目标基板释放。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述压模具有双鳍片配置。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述压模具有倾斜鳍片配置。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述底表面上的所述紫外线阻挡材料的所述固化是通过热输入的。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述底表面上的所述紫外线阻挡材料的所述固化是通过添加的压力的。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述底表面上的所述紫外线阻挡材料的所述固化是通过添加的压力的。

7.一种用于生产压模的方法，包括：

提供主体基板；

用涂覆层涂覆所述主体基板；

用光刻工具处理具有所述涂覆层的所述主体基板以产生待复制的表面；

用抗粘材料处理所述待复制的表面；

用紫外线阻挡层填充所述压模的间隙；

固化所述紫外线阻挡层；

将材料层放置到具有所述紫外线阻挡层的待复制的所述表面上；

向待复制的表面上的所述材料层放置粘附层以产生布置；

在所述布置与背衬之间产生受控的气隙；

用聚二甲硅氧烷填充所述受控的气隙；

固化用所述聚二甲硅氧烷填充的所述间隙；

在所述抗粘材料处将所述布置与所述背衬分离，从而产生顶部压模部分；

将所述顶部压模部分放置在具有抗蚀剂层的目标压印基板上方；

使所述顶部压模部分与具有所述抗蚀剂层的所述目标压印基板接触；

将所述顶部压模部分从具有所述抗蚀剂层的所述目标压印基板去除；和

固化所述目标压印基板上的所述抗蚀剂层。

8.如权利要求7所述的方法，其中将所述材料放置到所述表面上是通过旋涂工艺的。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述抗粘材料是单层材料。

10.如权利要求7所述的方法，其中所述抗粘材料是单层材料。

11.一种制造电气/光学部件的方法，包括：

在由纳米粒子抗蚀剂层覆盖的基板上方放置包含用于复制所述电气/光学部件的表面的压模，压模具有紫外线阻挡材料的表面涂层；

在由所述纳米粒子抗蚀剂层覆盖的所述基板与所述压模之间建立接触；

向由所述纳米粒子抗蚀剂层覆盖的所述基板和所述压模施予辐射；

在所述辐射未受到所述紫外线阻挡材料保护的情况下使所述纳米粒子抗蚀剂的至少一部分凝固；

将所述由纳米粒子抗蚀剂覆盖的基板从所述压模分离；和

从所述压模去除残留的抗蚀剂的区段。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述电气/光学部件是二元鳍片光栅。

13.如权利要求11所述的方法，其中所述电气/光学部件是倾斜鳍片光栅。

14.如权利要求11所述的方法，其中所述纳米粒子抗蚀剂由直径小于50mm的材料制成。

15.如权利要求11所述的方法，其中所述纳米粒子抗蚀剂至少部分地由二氧化钛制成。