[发明专利]离子束去层系统和方法以及用于其的终点监测系统和方法在审
| 申请号： | 202080010315.8 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN113330294A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | C·帕夫洛维奇 | 申请（专利权）人： | 泰科英赛科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/06 | 分类号： | G01N19/06;C23F4/00;G01R31/303;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人： | 李洁;董江虹 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了离子束去层系统和方法以及用于其的终点监测系统和方法的多个实施方案。在一个实施方案中，描述了一种用于监测用于未知异质分层样品的离子束去层过程的方法，所述方法包括：将所述样品接地以允许电流从所述样品流动，所述流动至少部分地由于所述离子束去层过程；使用所述离子束来铣销所述样品的当前暴露的层，当所述当前暴露的层被铣销时，从而导致给定的可测量的电流从所述样品流动，其中所述给定的可测量的电流指示所述当前暴露的层的暴露的表面材料成分；在所述铣销期间检测所述可测量的电流的可测量的改变作为对应的暴露的表面材料成分改变的表示；以及将所述可测量的改变与所述样品的新暴露的层相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 系统 方法 以及 用于 终点 监测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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