[实用新型]镀膜载板有效
| 申请号： | 202023344028.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214203638U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例中提供了一种镀膜载板，属于太阳能电池加工夹具的技术领域，至少部分解决现有技术中存在的硅片在加工时与载板接触面积过大，致使太阳能电池量产效率较低的问题。包括载板本体，所述载板本体上设有用于放置硅片的凹槽，所述凹槽内安装有用于支撑所述硅片的支撑部，所述支撑部与硅片的接触面积小于所述硅片的面积。通过本申请的处理方案，提高了太阳能电池中硅片的加工率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
