[实用新型]一种生产质量检测用硅棒的设备有效
申请号: | 202023343665.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214192591U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 李坤;杨涛;赵云松;陈文吉;裴雅晨 | 申请(专利权)人: | 新疆大全新能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;G01N33/00 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
地址: | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备,其包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器;汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三;物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通;物料通道二与置换氮气管道连通;物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通;汇流切换控制系统包括:控制阀、压力表和控制器;控制阀和压力表分别设置在多个新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道、新鲜氢气管道、回收氢气管道和置换氮气管道上;控制器分别与控制阀和压力表连接;反应器与汽化器连通。采用本实用新型能够缩短生产检测用硅棒的周期,提升来料物料质量的评估效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 质量 检测 用硅棒 设备 | ||
【主权项】:
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