[实用新型]一种蚀刻定位装置以及蚀刻系统

摘要

本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种蚀刻定位装置以及蚀刻系统。蚀刻定位装置，其包括动力结构和定位结构。动力结构包括第一从动轴以及布置于第一从动轴上的第一滚轮，第一滚轮设置多个，各第一滚轮沿第一从动轴的轴向间隔设置。定位结构包括底座、压板以及压块，底座呈长条状，并开设有转动槽，第一从动轴的一端转动设置于转动槽，第一从动轴的轴向与底座的长度方向垂直设置，压块的一端连接压板，压块的另一端部分容置于转动槽并滑动压紧第一从动轴的侧表面，以阻碍第一从动轴跳动。本实用新型可以提高了第一从动轴转动的平稳性，进而提高了第一从动轴传送的平稳性和可靠性。