[实用新型]一种蚀刻定位装置以及蚀刻系统

说明书

本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种蚀刻定位装置以及蚀刻系统。蚀刻定位装置，其包括动力结构和定位结构。动力结构包括第一从动轴以及布置于第一从动轴上的第一滚轮，第一滚轮设置多个，各第一滚轮沿第一从动轴的轴向间隔设置。定位结构包括底座、压板以及压块，底座呈长条状，并开设有转动槽，第一从动轴的一端转动设置于转动槽，第一从动轴的轴向与底座的长度方向垂直设置，压块的一端连接压板，压块的另一端部分容置于转动槽并滑动压紧第一从动轴的侧表面，以阻碍第一从动轴跳动。本实用新型可以提高了第一从动轴转动的平稳性，进而提高了第一从动轴传送的平稳性和可靠性。

技术领域

本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种蚀刻定位装置以及蚀刻系统。

背景技术

目前，玻璃基板是制造平板显示器的主要材料，广泛应用于液晶显示器、等离子显示屏、触控屏、有机发光显示器等领域。随着当今世界高新技术产品飞速发展，对平板显示器的轻薄化要求越来越高，因而玻璃基板的减薄工艺成了终端显示产品能否实现薄型化的核心问题之一。所谓减薄就是用化学药液将玻璃基板均匀蚀刻至目标厚度。目前常见的减薄工艺包括有浸泡式和喷淋式。

喷淋式减薄是通过从动辊轮将电路板输送至，喷淋蚀刻区，药水通过喷嘴而喷洒在电路板上。但是，从动辊轮在转动传送过程中，由于电路板表面的不平整，以及喷淋药液的不定向冲击等原因，从动辊轮会发生跳动，从而导致传送不平稳，不利于电路板传送的可靠性。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种蚀刻定位装置，旨在解决的问题如何对从动辊轮进行有效固定，以提高传送的可靠性的问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种蚀刻定位装置，其包括：

动力结构，包括第一从动轴以及布置于所述第一从动轴上的第一滚轮，所述第一滚轮设置多个，各所述第一滚轮沿所述第一从动轴的轴向间隔设置；以及

定位结构，包括底座、压板以及压块，所述底座呈长条状，并开设有转动槽，所述第一从动轴的一端转动设置于所述转动槽，所述第一从动轴的轴向与所述底座的长度方向垂直设置，所述压块的一端连接所述压板，所述压块的另一端部分容置于所述转动槽并滑动压紧所述第一从动轴的侧表面，以阻碍所述第一从动轴跳动。

在一个实施例中，所述压块抵接所述第一从动轴侧表面的端面呈弧面设置并与所述从动轴的侧表面形状适配。

在一个实施例中，所述定位结构还包括具有弹性恢复力的第一弹片，所述第一弹片的两端分别连接所述转动槽的两侧槽壁，所述第一弹片弹性包裹于所述第一从动轴的侧表面，所述第一从动轴的一端位于所述第一弹片与所述压块之间。

在一个实施例中，所述动力结构还包括第二从动轴以及设置于所述第二从动轴的第二滚轮，所述第一从动轴和所述第二从动轴沿所述转动槽的槽深方向依次间隔设置。

在一个实施例中，所述定位结构还包括第二弹片，所述第一弹片与所述第二弹片沿所述压块指向所述转动槽槽底的方向间隔设置，所述第二弹片的两端分别连接所述转动槽的两侧槽壁，且所述第二弹片朝所述转动槽的槽底包裹所述第二从动轴的侧表面。

在一个实施例中，所述底座包括呈长条状的基座以及连接所述基座的卡销，所述基座开设有容置槽，所述卡销可拆卸的插接于所述容置槽，所述转动槽开设于所述卡销。

在一个实施例中，所述卡销的两侧表面均开设有定位槽，所述容置槽的两侧槽壁分别卡设于两所述定位槽。

在一个实施例中，所述基座朝向所述压板的表面开设有螺纹孔，所述压板对应所述螺纹孔的位置开设有通孔，所述定位结构还包括连接螺栓，所述连接螺栓的一端穿设所述通孔并螺锁于所述螺纹孔。

在一个实施例中，所述转动槽开设有多个，各所述转动槽沿所述底座的长度方向间隔设置，各所述转动槽内均设置有所述第一从动轴，各所述第一从动轴上均设置有多个所述第一滚轮。