[实用新型]一种蚀刻定位装置以及蚀刻系统

权利要求书

1.一种蚀刻定位装置，其特征在于，包括：

动力结构，包括第一从动轴以及布置于所述第一从动轴上的第一滚轮，所述第一滚轮设置多个，各所述第一滚轮沿所述第一从动轴的轴向间隔设置；以及

定位结构，包括底座、压板以及压块，所述底座呈长条状，并开设有转动槽，所述第一从动轴的一端转动设置于所述转动槽，所述第一从动轴的轴向与所述底座的长度方向垂直设置，所述压块的一端连接所述压板，所述压块的另一端部分容置于所述转动槽并滑动压紧所述第一从动轴的侧表面，以阻碍所述第一从动轴跳动。

2.如权利要求1所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述压块抵接所述第一从动轴侧表面的端面呈弧面设置并与所述从动轴的侧表面形状适配。

3.如权利要求1所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述定位结构还包括具有弹性恢复力的第一弹片，所述第一弹片的两端分别连接所述转动槽的两侧槽壁，所述第一弹片弹性包裹于所述第一从动轴的侧表面，所述第一从动轴的一端位于所述第一弹片与所述压块之间。

4.如权利要求3所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述动力结构还包括第二从动轴以及设置于所述第二从动轴的第二滚轮，所述第一从动轴和所述第二从动轴沿所述转动槽的槽深方向依次间隔设置。

5.如权利要求4所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述定位结构还包括第二弹片，所述第一弹片与所述第二弹片沿所述压块指向所述转动槽槽底的方向间隔设置，所述第二弹片的两端分别连接所述转动槽的两侧槽壁，且所述第二弹片朝所述转动槽的槽底包裹所述第二从动轴的侧表面。

6.如权利要求1-5任意一项所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述底座包括呈长条状的基座以及连接所述基座的卡销，所述基座开设有容置槽，所述卡销可拆卸的插接于所述容置槽，所述转动槽开设于所述卡销。

7.如权利要求6所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述卡销的两侧表面均开设有定位槽，所述容置槽的两侧槽壁分别卡设于两所述定位槽。

8.如权利要求6所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述基座朝向所述压板的表面开设有螺纹孔，所述压板对应所述螺纹孔的位置开设有通孔，所述定位结构还包括连接螺栓，所述连接螺栓的一端穿设所述通孔并螺锁于所述螺纹孔。

9.如权利要求1-5任意一项所述的蚀刻定位装置，其特征在于：所述转动槽开设有多个，各所述转动槽沿所述底座的长度方向间隔设置，各所述转动槽内均设置有所述第一从动轴，各所述第一从动轴上均设置有多个所述第一滚轮。

10.一种蚀刻系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的蚀刻定位装置。