[实用新型]密封圈及半导体真空设备有效
| 申请号： | 202023213685.8 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214063773U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 孙虎 | 申请（专利权）人： | 上海诺硕电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201508 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种密封圈及半导体真空设备，应用于半导体真空设备，所述密封圈设置在半导体真空设备的真空箱的密封槽中，以使所述半导体真空设备中的真空箱和盖板密封，所述密封圈包括环形的圈身，所述密封圈包括相对设置的内侧壁和外侧壁，所述内侧壁和/或所述外侧壁具有毛边结构，所述内侧壁和所述外侧壁的至少一面侧壁设有凸起结构，且所述内侧壁和所述外侧壁分别朝向所述密封槽的两面内侧壁设置，便于快速的通过视觉和触觉识别出所述密封圈的所述内侧壁和所述外侧壁，以便将有毛边结构的所述内侧壁和所述外侧壁分别朝向所述密封槽的两面内侧壁设置设置安装，保证半导体真空设备的盖板和密封槽之间密封效果，避免了盖板和密封槽之间的密封不完全。 | ||
| 搜索关键词： | 密封圈 半导体 真空设备 | ||
【主权项】：
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