[实用新型]一种固态源瓶

摘要

本实用新型涉及一种固态源瓶，包括罐体、内部安装固态源的储样桶、进气管和出气管；所述储样桶的桶身具有多孔过滤结构，安装于所述罐体内部；所述进气管插入所述罐体内底部，所述出气管插入罐体，整个罐体以及进气管和出气管外部均完全包裹加热装置。整个罐体以及进气管和出气管外部均完全包裹加热装置，对固态源及其相连的输运管路进行加热，可以减少固态源的冷凝沉积，解决了固态源蒸气进入输运管路的阻塞问题，通过载气气体进入源瓶，更高效的将固态源输运到待镀膜腔体，可以保持输运管路的清洁，可以提高固态源的利用效率50％以上，极大地节省了生产成本。