[实用新型]一种石墨片卡点精准压装机构有效
申请号: | 202022936430.8 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN213278106U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 李铁;李杨 | 申请(专利权)人: | 江苏沃宏装备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23C16/458;C23C16/50 |
代理公司: | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人: | 许益民 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种石墨片卡点精准压装机构,包括移动模组、压装组件和控制单元,移动模组包括横向丝杆模组、滑动座和纵向丝杆模组,滑动座设于横向丝杆模组上,纵向丝杆模组与滑动座固定连接,压装组件包括连接板、固定板、相机、压力传感器和压头,连接板可滑动地设于纵向丝杆模组上,固定板与连接板连接,相机设于固定板上,压头设于固定板的下端,压力传感器设于压头与固定板的连接处。压装过程中,压头用于向石墨片对应位置压装卡点,相机用于精确定位卡点压装位置,避免错压;压力传感器用于检测压装时的压力大小,指示灯在过压时发出提示,从而方便操作人员对压装过程进行监控,提高压装合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 片卡点 精准 装机 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的