[实用新型]一种石墨片卡点精准压装机构

说明书

本实用新型提供一种石墨片卡点精准压装机构，包括移动模组、压装组件和控制单元，移动模组包括横向丝杆模组、滑动座和纵向丝杆模组，滑动座设于横向丝杆模组上，纵向丝杆模组与滑动座固定连接，压装组件包括连接板、固定板、相机、压力传感器和压头，连接板可滑动地设于纵向丝杆模组上，固定板与连接板连接，相机设于固定板上，压头设于固定板的下端，压力传感器设于压头与固定板的连接处。压装过程中，压头用于向石墨片对应位置压装卡点，相机用于精确定位卡点压装位置，避免错压；压力传感器用于检测压装时的压力大小，指示灯在过压时发出提示，从而方便操作人员对压装过程进行监控，提高压装合格率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种石墨片卡点精准压装机构。

背景技术

在太阳能电池的生产过程中，PECVD（Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。

为了将硅片固定于石墨舟中，石墨舟的石墨片上设有用于固定硅片的卡点。为了将卡点压装到石墨片的对应位置，需要使用卡点压装设备。目前的卡点压装设备在工作过程中定位精度较低，易造成错压，降低了产品合格率；压装时的压力大小不能精准控制，过压时易造成石墨片损坏。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石墨片卡点精准压装机构，精准定位卡点压装位置，避免错压；对压装时的压力进行检测，避免过压造成石墨片损坏。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种石墨片卡点精准压装机构，包括移动模组、压装组件和控制单元，所述控制单元与所述移动模组、所述压装组件电性连接；所述移动模组包括横向丝杆模组、滑动座和纵向丝杆模组，所述横向丝杆模组沿第一方向设置，所述滑动座可沿所述第一方向滑动地设于所述横向丝杆模组上；所述纵向丝杆模组与所述滑动座固定连接，所述纵向丝杆模组沿第二方向设置；所述压装组件包括连接板、固定板、相机、压力传感器和压头，所述连接板可沿所述第二方向滑动地设于所述纵向丝杆模组上，所述固定板与所述连接板连接，所述相机设于所述固定板上，所述压头设于所述固定板的下端，所述压力传感器设于所述压头与所述固定板的连接处。

优选地，所述压头有多个，待压装卡点的石墨片上设有多个卡孔，多个所述压头的位置与石墨片上的多个所述卡孔的位置相匹配。

优选地，所述压头的数量为三个，每个压头与所述固定板的连接处均设有所述压力传感器。

优选地，所述连接板为L型，所述连接板的一端与所述纵向丝杆模组可滑动地连接，所述连接板的另一端与所述固定板固定连接。

优选地，所述控制单元包括显示屏和指示灯，所述显示屏用于显示设备工作状态，所述指示灯用于在过压时发出提示。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型利用控制单元对移动模组和压装组件进行精确控制，利用移动模组实现压装组件的运动，压装过程中，压头用于向石墨片对应位置压装卡点，相机用于精确定位卡点压装位置，避免错压；压力传感器用于检测压装时的压力大小，指示灯在过压时发出提示，从而方便操作人员对压装过程进行监控，提高压装合格率。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的一种石墨片卡点精准压装机构的结构示意图；

图2为本实用新型实施例1的一种石墨片卡点精准压装机构中压装组件的结构示意图；