[实用新型]一种石墨片卡点精准压装机构有效

专利信息
申请号: 202022936430.8 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN213278106U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 李铁;李杨 申请(专利权)人: 江苏沃宏装备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23C16/458;C23C16/50
代理公司: 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 代理人: 许益民
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 片卡点 精准 装机
【权利要求书】:

1.一种石墨片卡点精准压装机构,其特征在于:包括移动模组、压装组件和控制单元,所述控制单元与所述移动模组、所述压装组件电性连接;所述移动模组包括横向丝杆模组、滑动座和纵向丝杆模组,所述横向丝杆模组沿第一方向设置,所述滑动座可沿所述第一方向滑动地设于所述横向丝杆模组上;所述纵向丝杆模组与所述滑动座固定连接,所述纵向丝杆模组沿第二方向设置;所述压装组件包括连接板、固定板、相机、压力传感器和压头,所述连接板可沿所述第二方向滑动地设于所述纵向丝杆模组上,所述固定板与所述连接板连接,所述相机设于所述固定板上,所述压头设于所述固定板的下端,所述压力传感器设于所述压头与所述固定板的连接处。

2.如权利要求1所述的石墨片卡点精准压装机构,其特征在于:所述压头有多个,待压装卡点的石墨片上设有多个卡孔,多个所述压头的位置与石墨片上的多个所述卡孔的位置相匹配。

3.如权利要求2所述的石墨片卡点精准压装机构,其特征在于:所述压头的数量为三个,每个压头与所述固定板的连接处均设有所述压力传感器。

4.如权利要求1所述的石墨片卡点精准压装机构,其特征在于:所述连接板为L型,所述连接板的一端与所述纵向丝杆模组可滑动地连接,所述连接板的另一端与所述固定板固定连接。

5.如权利要求1所述的石墨片卡点精准压装机构,其特征在于:所述控制单元包括显示屏和指示灯,所述显示屏用于显示设备工作状态,所述指示灯用于在过压时发出提示。

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