[实用新型]一种晶圆生产用清洁装置有效
| 申请号： | 202022923088.8 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN214289613U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴继勇 | 申请（专利权）人： | 江苏宿芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223800 江苏省宿迁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆生产用清洁装置，涉及电子元件加工技术领域。本实用新型包括容纳箱、输送带、顶盖和清洁机构，容纳箱内部的四角对称固定有支柱，支柱顶部的内侧转动连接有滚轴，两根滚轴之间包覆连接有输送带，通过滚轴的旋转使输送带运转输送，输送带上设置有清洁机构，清洁机构用于对晶圆的固定，以保证不会互相碰撞，容纳箱的上端固定有顶盖，顶盖覆盖于输送带上方，顶盖用于固定管道类的输水结构，同时防止水流四射。本实用新型通过清洁机构、顶盖、容纳箱，解决了晶圆清洁时缺少相应的辅助固定结构和晶圆清洁不彻底，水资源耗费大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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