[实用新型]一种晶圆生产用清洁装置

权利要求书

1.一种晶圆生产用清洁装置，包括容纳箱（1）、输送带（3）、顶盖（4）和清洁机构（7），其特征在于：所述容纳箱（1）内部的四角对称固定有支柱（32），所述支柱（32）顶部的内侧转动连接有滚轴（31），两根所述滚轴（31）之间包覆连接有输送带（3），所述输送带（3）上设置有清洁机构（7），所述容纳箱（1）的上端固定有顶盖（4），所述顶盖（4）覆盖于输送带（3）上方。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用清洁装置，其特征在于，所述清洁机构（7）包括盖板（71）和基板（72），所述基板（72）内固定有底板（77），所述底板（77）上的基板（72）内固定有网格栅（76），所述底板（77）的内侧设有滤孔（78），所述盖板（71）的内侧固定有滤网（73）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用清洁装置，其特征在于，所述基板（72）上端的四角固定有限位杆（79），所述盖板（71）的四角贯穿开设有通孔（74），所述盖板（71）通过通孔（74）套设于限位杆（79）外盖设在基板（72）上，所述网格栅（76）周侧的底板（77）上放置有晶圆主体（75）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用清洁装置，其特征在于，所述顶盖（4）的顶部贯穿固定有T型管（6），所述T型管（6）的底部等间距的固定有喷头（61），所述T型管（6）的顶端固定有横管（5），且T型管（6）于横管（5）底部对称分布，所述横管（5）的上端固定有进水管（51）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用清洁装置，其特征在于，所述容纳箱（1）的外侧固定有电机（2），所述电机（2）的输出端与其中一根滚轴（31）固定连接，所述容纳箱（1）的一端固定有排水管（11），所述排水管（11）的表面固定有阀门（12）。