[实用新型]一种便捷安全的硅片取片装置有效

专利信息
申请号: 202022861839.8 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN213519912U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 刘飞;陈实;树式;夏利鹏;吴圣;李干;陈经纬 申请(专利权)人: 江苏龙恒新能源有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 江苏省宿迁市经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开的属于硅片加工技术领域,具体为一种便捷安全的硅片取片装置,包括取片头、手持把手与吸附装置,其技术方案是:所述手持把手左侧固定安装有支撑座,所述支撑座两侧设有取片头,所述取片头一侧开设有安装槽,所述安装槽内壁设有吸附装置,所述吸附装置包括底座,所述底座顶部固定安装有顶盖,所述底座外壁固定安装有密封环,所述底座与顶盖内壁开设有通气孔,本实用新型有益效果是:通过通气孔抽走外吸盘与内吸盘的气体,内外压力不同,大气压使硅片被吸附,取片头接触硅片,按压按钮,取片头吸附硅片,手持把守将硅片取出,具有减少脏污片和碎片的产生的效果。
搜索关键词: 一种 便捷 安全 硅片 装置
【主权项】:
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