[实用新型]一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置

摘要

本实用新型公开的一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置，包括进气组件、出气组件以及连接底板；所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板上设置有进气口与循环进气口，进气盒上设置有进气端分气出口，所述进气盒与左封板围合成进气腔；所述出气组件包括具有右侧开口的出气盒，出气盒的右侧开口处可拆卸的设置有右封板，右封板上设置有出气口与循环出气口，出气盒上设置有出气端分气进口，所述出气盒与右封板围合成出气腔。本实用新型中将传统的多部件均氧结构制成了整体式结构，大大的简化了安装结构，利于后期的维护，并且整体结构紧凑，整体集成度高。