[实用新型]一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置有效
| 申请号： | 202022814916.4 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213811717U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 卢小东 | 申请（专利权）人： | 华芯威半导体科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D7/02 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100744 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 整体 式均氧 部件 以及 碳化硅 加工 钝化 装置 | ||
1.一种整体式均氧部件，其特征在于：包括进气组件、出气组件以及连接底板；
所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板上设置有进气口与循环进气口，进气盒上设置有进气端分气出口，所述进气盒与左封板围合成进气腔；
所述出气组件包括具有右侧开口的出气盒，出气盒的右侧开口处可拆卸的设置有右封板，右封板上设置有出气口与循环出气口，出气盒上设置有出气端分气进口，所述出气盒与右封板围合成出气腔；
所述连接底板的两侧分别与进气盒以及出气盒的底部固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述进气盒通过第一螺钉与左封板连接，所述出气盒通过第二螺钉与右封板连接。
3.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述进气口、循环进气口、出气口与循环出气口内均设置有螺纹连接结构。
4.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述连接底板的后侧设置有加强连接部。
5.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述连接底板上设置有用于放置碳化硅支架的承载台。
6.根据权利要求5所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述承载台上设置有螺纹连接孔。
7.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述连接底板上设置有安装孔。
8.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述进气端分气出口与出气端分气出口均采用阵列的方式布满各自所在的平面。
9.根据权利要求8所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述进气端分气出口与出气端分气出口的位置相对应。
10.一种碳化硅加工钝化装置，其特征在于：包括权利要求1-9任意一项所述的整体式均氧部件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华芯威半导体科技（北京）有限责任公司，未经华芯威半导体科技（北京）有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022814916.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种建筑施工模板加固对拉装置
- 下一篇：一种高压双联齿轮泵
