[实用新型]一种适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构

摘要

本实用新型公开了一种适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，结构包括第一无机层(1)、有机层(3)和第二无机层(2)，所述第一无机层(1)和第二无机层(2)由扩散阻挡层(4)和阻隔层(5)交替叠加而成。采用交叠结构代替原有的第一无机层/第二无机层结构，通过多次成膜，降低每一次成膜膜层的内应力，减少出现膜层crack，peeling的问题，多层结构为阻隔层+扩散抑制层的组合结构，在满足封装阻隔性能的基础上，重点防止无机层中NHx*自由基的扩散。交叠封装结构既可以阻挡外界环境中有害气体对OLED器件的腐蚀，又可以阻挡整体结构中下方薄膜对上方薄膜的腐蚀。