[实用新型]一种适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构

权利要求书

1.一种适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，结构包括第一无机层(1)、有机层(3)和第二无机层(2)，所述第一无机层(1)和第二无机层(2)由扩散阻挡层(4)和阻隔层(5)交替叠加而成。

2.根据权利要求1所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述扩散阻挡层(4)采用不含铵根离子或铵根自由基无机薄膜，氧化硅、氧化铝或氧化钛薄膜，所述阻隔层(5)采用金属氧化膜或金属氮化膜，氧化铝，氧化硅或氮氧化硅。

3.根据权利要求1所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述第一无机层(1)和第二无机层(2)中的扩散阻挡层(4)和阻隔层(5)为2层以上。

4.根据权利要求3所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述第一无机层(1)和第二无机层(2)中的扩散阻挡层(4)和阻隔层(5)为2-5层。

5.根据权利要求3所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述扩散阻挡层(4)厚度为0.1～0.2um，采用氧化硅薄膜。

6.根据权利要求3所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述阻隔层(5)厚度为0.1～0.2um。

7.根据权利要求1所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述扩散阻挡层(4)在阻隔层(5)上方。

8.根据权利要求1所述的适用于折叠柔性显示的薄膜封装结构，其特征在于，所述有机层(3)厚度为2～20um，第一无机层(1)的整体厚度为0.3～1.5微米，第二无机层(2)的整体厚度为0.3～1.5微米。