[实用新型]一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板

摘要

本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，其特征在于，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上开设有若干用于透过底座对所述夹具位置检测的检测信号的信号透过孔。本实用新型通过在底座与夹具之间设置本消磁隔板，从而减小或消除因底座上磁铁吸附夹具而产生的过盛磁场，进而避免对溅射镀膜的磁场产生干扰，从而使溅射机对基板镀膜更加均匀，免受干扰，从而提高成品质量，节省材料，提高效率。