[实用新型]一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板

说明书

本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，其特征在于，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上开设有若干用于透过底座对所述夹具位置检测的检测信号的信号透过孔。本实用新型通过在底座与夹具之间设置本消磁隔板，从而减小或消除因底座上磁铁吸附夹具而产生的过盛磁场，进而避免对溅射镀膜的磁场产生干扰，从而使溅射机对基板镀膜更加均匀，免受干扰，从而提高成品质量，节省材料，提高效率。

技术领域

本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板。

背景技术

目前在溅射机镀膜8寸窄带产品片时会产生均匀性不良或均匀性范围太小，增大了成本。

为了保证溅射机能够在基板上溅射均匀，溅射点子良好，需要治具的底座进行自转来维持镀膜均匀。底座自转时，为了保证夹具不会在自转和大盘公转的同时被甩飞出去而导致镀膜机损坏，底座需要加磁铁来对夹具进行吸附。由于溅射机本身原理就是磁场溅射，所以在底座加了磁铁后会对原本的磁场造成或多或少的破坏，进而对溅射磁场产生影响，从而导致镀膜均匀性不良，进而导致产品品质下降，材料成本、人工成本投入加大等不良影响。

另外，目前窄带干涉滤光片可替代如光栅那样昂贵的分光器件，广泛应用于光学实验和工业领域。所以窄带滤光片的需求增大，若不改善磁场均匀性问题会造成很大成本上的浪费。

因此，急需在底座和夹具之间加一个特殊设计的消磁隔板进行改进，从而保证不影响原本的镀膜磁场或者将影响降到最小，以便最大程度的保证镀膜均匀性良好，降低投入成本，增大产出。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上开设有若干用于透过底座对所述夹具位置检测的检测信号的信号透过孔。

优选地，各所述凸沿与所述隔板本体一体成型。

优选地，所述隔板本体为金属材质。

优选地，所述隔板本体的厚度为0.3～0.8mm，更优选厚度为0.5mm。

优选地，所述隔板本体的直径小于所述夹具的直径。

优选地，所述隔板本体的直径≥150mm，所述隔板本体的直径大小是所述透磁通孔直径大小的30～40倍。

优选地，所述夹具与所述隔板本体的直径之差为10mm～30mm。

优选地，所述信号透过孔为胶囊状椭圆孔。

优选地，所述信号透过孔为盲孔，开设在所述隔板本体的底面。

优选地，所述信号透过孔为通孔。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在底座与夹具之间设置本消磁隔板，从而减小或消除因底座上磁铁吸附夹具而产生的过盛磁场，进而避免对溅射镀膜的磁场产生干扰，从而使溅射机对基板镀膜更加均匀，免受干扰，从而提高成品质量，节省材料，提高效率。

附图说明

图1是消磁隔板的结构示意图。

图2是夹具的底面结构示意图。

图3是底座的部分结构示意图。

图4是夹具、隔板以及底座的爆炸示意图。