[实用新型]一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板

权利要求书

1.一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具(101)与底座(102)之间，包括隔板本体(1)，其特征在于，所述隔板本体(1)整体呈圆形，所述隔板本体(1)的边缘均匀固定有至少三个凸沿(2)，所述凸沿(2)上均开设有透磁通孔(3)，所述隔板本体(1)上开设有若干用于透过底座(102)对所述夹具(101)位置检测的检测信号的信号透过孔(4)。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，各所述凸沿(2)与所述隔板本体(1)一体成型。

3.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)为金属材质。

4.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的厚度为0.3～0.8mm。

5.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的直径小于所述夹具(101)的直径。

6.根据权利要求1或5所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的直径≥150mm，所述隔板本体(1)的直径大小是所述透磁通孔(3)直径大小的30～40倍。

7.根据权利要求6所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述夹具(101)与所述隔板本体(1)的直径之差为10mm～30mm。

8.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述信号透过孔(4)为胶囊状椭圆孔。

9.根据权利要求1或8所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述信号透过孔(4)为盲孔，开设在所述隔板本体(1)的底面。

10.根据权利要求1或8所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述信号透过孔(4)为通孔。