[实用新型]一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件

摘要

本实用新型属于电子半导体生产设备技术领域，尤其为一种电子半导体生产设备的卡接式防护组件，包括机身，所述机身内部固定连接有工作台，所述机身外侧固定连接有固定座，所述机身下表面固定连接有支撑脚，所述机身外侧设置有防护机构，所述防护机构内部设置有清灰机构，所述防护机构内部设置有卡接机构，本实用新型通过助力液压缸，在打开防护门时只需要提供很少的力即可轻松打开，在防护门内侧设置的通气孔，通过鼓风机一直对玻璃窗进行吹风清扫，工作中灰尘不会粘在玻璃窗上，通过卡接组件，可以非常稳固的将防护门锁紧，需要打开时，伸手握住门把手外壳，捏住拉手，通过拉手带动第一挂钩、第二挂钩松开，即可轻松打开防护门。