[实用新型]一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置有效
| 申请号: | 202022430726.2 | 申请日: | 2020-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN213424847U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
| 发明(设计)人: | 曾宇 | 申请(专利权)人: | 曜昀光电科技(厦门)有限公司 |
| 主分类号: | H01H3/16 | 分类号: | H01H3/16;H01H3/28;C23C14/30 |
| 代理公司: | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人: | 王成红 |
| 地址: | 361000 福建省厦门市集美区环珠*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置,涉及保护开关技术领域,本实用新型包括连接开关、法兰、电磁开关、压缩弹簧以及电性开关,其特征在于:法兰包括法兰本体、第一支柱以及第二支柱,第一支柱一端与法兰本体一表面焊接,第一支柱另一端与连接开关一表面连接,第二支柱一端与法兰本体一表面焊接,第二支柱另一端与电性开关一表面连接,若干电磁开关一端均与连接开关一表面连接,若干压缩弹簧均安装于法兰内部一表面,本实用新型一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置,过设置若干组电磁开关,只有当室门关闭,所有的电磁开关都被激活时,整个装置才会通电,有效地增加了保护开关装置的安全性与可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 真空镀膜 设备 真空 保护 开关 装置 | ||
【主权项】:
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