[实用新型]一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，涉及保护开关技术领域，本实用新型包括连接开关、法兰、电磁开关、压缩弹簧以及电性开关，其特征在于：法兰包括法兰本体、第一支柱以及第二支柱，第一支柱一端与法兰本体一表面焊接，第一支柱另一端与连接开关一表面连接，第二支柱一端与法兰本体一表面焊接，第二支柱另一端与电性开关一表面连接，若干电磁开关一端均与连接开关一表面连接，若干压缩弹簧均安装于法兰内部一表面，本实用新型一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，过设置若干组电磁开关，只有当室门关闭，所有的电磁开关都被激活时，整个装置才会通电，有效地增加了保护开关装置的安全性与可靠性。

技术领域

本实用新型涉及保护开关技术领域，特别涉及一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，在真空镀膜设备中，一般是以电子枪为蒸发源，该蒸发源在作业过程中，工作电压将达到上千伏甚至上万伏，所以为了保护工作人员的生命安全，电子枪在工作前，真空室门必须保持关闭的状态，因此，通常在真空室门上安装保护开关装置。

现有的真空室门保护开关装置，一般采用的是机械式的结构，开关关闭时电源接通，电子枪可以工作，开关断开时电源也断开，这种机械式的保护开关灵敏度不够高，随着使用次数的增多与使用的磨损，该保护开关的安全性与可靠性将大大降低，为此，我们提出一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，通过增加其相应的功能性结构，有效配合使用环境及使用需求，可以有效解决现有的真空室门保护开关装置灵敏度不够高，随着使用次数的增多与使用的磨损，该保护开关的安全性与可靠性将大大降低等问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，包括连接开关、法兰、电磁开关、压缩弹簧以及电性开关，其特征在于：所述法兰包括法兰本体、第一支柱以及第二支柱，所述第一支柱一端与法兰本体一表面焊接，所述第一支柱另一端与连接开关一表面连接，所述第二支柱一端与法兰本体一表面焊接，所述第二支柱另一端与电性开关一表面连接，若干所述电磁开关一端均与连接开关一表面连接，若干所述压缩弹簧均安装于法兰内部一表面，所述电磁开关包括铁芯以及绕线组，所述绕线组安装于铁芯周侧面。

优选地，所述连接开关包括连接开关本体、开关槽以及电信号控制盒，若干所述开关槽均安装于连接开关本体一表面，所述电信号控制盒与连接开关本体一表面连接，所述绕线组一端与电信号控制盒连接，通过设置连接开关，当真空室门关闭时，线路闭合，电信号控制盒便可检测到电信号确认室门关闭，有效地增加了保护开关装置的灵敏性。

优选地，所述法兰还包括定位套筒，所述法兰本体一表面阵列有若干通孔，若干所述定位套筒均安装于若干通孔内部。

优选地，所述电磁开关还包括电磁铁，所述电磁铁焊接于铁芯一端，通过设置若干组电磁开关，只有当室门关闭，所有的电磁开关都被激活时，整个装置才会通电，有效地增加了保护开关装置的安全性与可靠性。

优选地，所述压缩弹簧包括压缩弹簧本体、铁片、弹簧套环以及导电柱，所述压缩弹簧本体一端与铁片连接，所述压缩弹簧本体另一端与导电柱连接，所述弹簧套环焊接于铁片一表面，所述弹簧套环的位置与压缩弹簧本体相适应，通过设置压缩弹簧，室门打开时，由于电磁铁断电，压缩弹簧便会复位，保证了装置的安全性，同时增加了灵活性。

优选地，所述电性开关包括电性开关本体以及连接板，所述电性开关本体安装于连接板一表面。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，通过设置连接开关，当真空室门关闭时，线路闭合，电信号控制盒便可检测到电信号确认室门关闭，有效地增加了保护开关装置的灵敏性。