[实用新型]平稳运行的硅片转运装置

摘要

本实用新型公开一种平稳运行的硅片转运装置，包括安装于机架上的运料底板、设置于运料底板一端的上料座、输入组件和输出组件，所述输入组件和输出组件分别安装于机架上并呈上下叠置，所述上料座可沿竖直方向上下移动，当上料座移动至上端时，其与输入组件的一端邻接，所述输入组件将料篮运送至上料座上，当上料座移动至下端时，其与输入组件的一端邻接，并将料篮运送至输入组件上，两个所述立板的上端面之间通过一顶支撑板连接，一驱动组件与两个立板中的至少一个连接，用于驱动两个立板沿竖直方向同步运动。本实用新型实现了对料篮的自动上下，还进一步实现了对单片硅片的高效、逐片全自动运送，自动化程度和加工效率高。