[实用新型]一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈有效
申请号: | 202022138616.9 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN213106347U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 叶文君;梁晗 | 申请(专利权)人: | 丰豹智能科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 汪丽丽 |
地址: | 200135 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈,包括护圈,所述护圈呈圆环状的结构,且在护圈上开设有用于流通研磨液的排液槽,所述排液槽的数量为若干个,若干个排液槽以护圈的圆心呈圆形阵列分布在护圈上。在本实用新型实施过程中,能够对研磨液边缘流量进行控制,从而大大缩短加工时间,提高了加工效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 增加 研磨 边缘 流量 均匀 | ||
【主权项】:
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