[实用新型]一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈有效
| 申请号： | 202022138616.9 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213106347U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 叶文君;梁晗 | 申请（专利权）人： | 丰豹智能科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 汪丽丽 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 增加 研磨 边缘 流量 均匀 | ||
【权利要求书】：
1.一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈，包括护圈(1)，其特征在于：所述护圈(1)呈圆环状的结构，且在护圈(1)上开设有用于流通研磨液(3)的排液槽(2)。
2.根据权利要求1所述的一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈，其特征在于：所述排液槽(2)的数量为若干个，若干个排液槽(2)以护圈(1)的圆心呈圆形阵列分布在护圈(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈，其特征在于：所述排液槽(2)的宽度为0-4mm。
4.根据权利要求1所述的一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈，其特征在于：所述排液槽(2)的深度为0-6mm。
5.根据权利要求2所述的一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈，其特征在于：所述排液槽(2)的数量为0-40个。
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