[实用新型]一种碳化硅晶体生长用坩埚及装置有效
| 申请号： | 202021994413.3 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN213142283U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 舒天宇;王宗玉;刘圆圆;周敏;黄治成 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种碳化硅晶体生长用坩埚及装置，该坩埚包括:坩埚盖、第一坩埚体、第二坩埚体和连接装置，第一坩埚体和第二坩埚体通过连接装置连接形成内部腔体，连接装置包括多个可转动的隔板；多个隔板转动至多个隔板之间和隔板与腔体之间无空隙，则多个隔板隔断第一坩埚体和第二坩埚体；多个隔板转动至多个隔板之间和/或隔板与腔体之间有空隙，则第一坩埚体通过空隙与第二坩埚体连通。通过隔板隔断第一坩埚体和第二坩埚体，可使得晶体生长前期，第一坩埚体的气氛不能传输至第二坩埚体，多个隔板之间和隔板与腔体内壁之间的空隙，形成气体运输通道，对气氛运输起到导向作用，可有效减少晶体生长的缺陷，提高晶体生长的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进科技股份有限公司，未经山东天岳先进科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021994413.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电池和使用电池的装置
- 下一篇：一种结构可靠的三轮车前叉总成
