[实用新型]一种MMP颗粒物去除装置有效
申请号: | 202021946285.5 | 申请日: | 2020-09-08 |
公开(公告)号: | CN213221507U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 张雷;陈志清;徐鹏飞 | 申请(专利权)人: | 势润化学科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B01D50/00 | 分类号: | B01D50/00;B01D46/30;B01D46/10;B01D46/50;B01D46/00;B01D53/26 |
代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 李志海 |
地址: | 201500 上海市金山区阳镇*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种MMP颗粒物去除装置,包括壳体,所述壳体内设有净化结构;其中,净化结构包含有:过滤棉、过滤网、活性炭盒、活性炭、负离子静电层、除潮层以及更换组件;所述过滤棉安装在所述壳体内前后壁面上,所述过滤网安装在所述壳体内前后壁面上,所述过滤网位于所述过滤棉右侧,所述活性炭盒位于所述壳体内部与所述壳体之间设有跟更换组件,所述活性炭盒位于所述过滤网右侧,所述活性炭安装在所述活性炭盒内部,所述负离子静电层安装在所述壳体内前后壁面上,所述负离子静电层位于所述活性炭盒右侧,本实用新型涉及精密半导体制备辅料加工设备技术领域,解决了现有的MMP颗粒物长时间吸入对人体存在危害的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 mmp 颗粒 去除 装置 | ||
【主权项】:
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