[实用新型]一种MMP颗粒物去除装置

说明书

本实用新型公开了一种MMP颗粒物去除装置，包括壳体，所述壳体内设有净化结构；其中，净化结构包含有：过滤棉、过滤网、活性炭盒、活性炭、负离子静电层、除潮层以及更换组件；所述过滤棉安装在所述壳体内前后壁面上，所述过滤网安装在所述壳体内前后壁面上，所述过滤网位于所述过滤棉右侧，所述活性炭盒位于所述壳体内部与所述壳体之间设有跟更换组件，所述活性炭盒位于所述过滤网右侧，所述活性炭安装在所述活性炭盒内部，所述负离子静电层安装在所述壳体内前后壁面上，所述负离子静电层位于所述活性炭盒右侧，本实用新型涉及精密半导体制备辅料加工设备技术领域，解决了现有的MMP颗粒物长时间吸入对人体存在危害的问题。

技术领域

本实用新型涉及精密半导体制备辅料加工设备技术领域，具体为一种MMP颗粒物去除装置。

背景技术

半导体器件和集成电路等电子产品已经有了举世属目的发展，在生产精密半导体制备的环境中含有MMP颗粒物，颗粒物，又称尘，气溶胶体系中均匀分散的各种固体或液体微粒，颗粒物可分为一次颗粒物和二次颗粒物，一次颗粒物是由直接污染源释放到大气中造成污染的颗粒物，例如土壤粒子、海盐粒子、燃烧烟尘，现有的MMP颗粒物长时间吸入对人体存在危害的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种MMP颗粒物去除装置，解决了现有的MMP颗粒物长时间吸入对人体存在危害的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种MMP颗粒物去除装置，包括壳体，所述壳体内设有净化结构；

其中，净化结构包含有：过滤棉、过滤网、活性炭盒、活性炭、负离子静电层、除潮层以及更换组件；

所述过滤棉安装在所述壳体内前后壁面上，所述过滤网安装在所述壳体内前后壁面上，所述过滤网位于所述过滤棉右侧，所述活性炭盒位于所述壳体内部与所述壳体之间设有跟更换组件，所述活性炭盒位于所述过滤网右侧，所述活性炭安装在所述活性炭盒内部，所述负离子静电层安装在所述壳体内前后壁面上，所述负离子静电层位于所述活性炭盒右侧，所述除潮层安装在所述壳体内前后壁面上，所述除潮层位于所述负离子静电层右侧。

优选的，所述更换组件包含有：一对结构相同的滑轨、一对结构相同的滑块以及拉手；

一对所述滑轨安装在所述壳体内前后壁面上，一对所述滑块位于所述过滤网和所述负离子静电层之间，一对所述滑块活动安装在一对所述滑轨上，所述活性炭盒安装在所述一对滑块之间，所述拉手安装在所述活性炭盒上壁面上。

优选的，所述壳体上壁面设有用于更换的盖体。

优选的，所述壳体外侧设有用于用于防撞的金属网。

优选的，一对所述滑轨上设有用于限位的限位块。

优选的，所述拉手上设有用于防滑的防滑纹。

有益效果

本实用新型提供了一种MMP颗粒物去除装置。具备以下有益效果:本案主要采用净化结构，可将含有MMP颗粒物的气体进行净化，使其净化后的气体不对人体产生危害，净化后的气体不含有MMP颗粒物和静电，可减少对人体的危害，解决了现有的MMP颗粒物长时间吸入对人体存在危害的问题。

附图说明

图1为本实用新型所述一种MMP颗粒物去除装置的主视结构示意图。

图2为本实用新型所述一种MMP颗粒物去除装置的侧视结构示意图。

图3为本实用新型所述一种MMP颗粒物去除装置的俯视结构示意图。

图中：1-壳体；2-过滤棉；3-过滤网；4-活性炭盒；5-活性炭；6-负离子静电层；7-除潮层；8-滑轨；9-滑块；10-拉手；11-盖体；12-金属网；13-限位块；14-防滑纹。

具体实施方式